微电子研究所简介

微电子研究所是一所专业从事微电子领域研究与开发的国立研究机构,是中国科学院微电子技术总体和中国科学院EDA中心的依托单位。其前身原中国科学院109厂成立于 1958年,1986年半导体所微电子学部加入,合并为中国科学院微电子中心,2003年9月正式更名为中国科学院微电子研究所。

微波器件与集成电路研究室简介

微波器件与集成电路研究室主要从事新型微波器件与集成电路技术研发,是我国化合物半导体器件和电路研究的开创者之一。研究室下设4英寸化合物半导体工艺线、微波单片集成电路(MMIC)设计和测试、超高频大功率微波模块与系统集成、新型太阳能电池制造技术、新型纳米集成电路工艺等实验室和科研平台。

研究室承担了多项国家科技重大专项、“863”计划、“973”计划、国家自然科学基金和中国科学院等项目和任务。在微波毫米波氮化镓功率器件和电路、高端毫米波磷化铟器件和电路、砷化镓HBT超高速数模混合电路、新一代太阳能电池技术、石墨烯电子器件、高迀移率异质沟道工程等方面取得了一批显著的创新成果。

工艺平台简介

中国科学院微波器件与集成电路研究室(四室)从“七五”期间开始从事化合物半导体特种器件和电路的研究。

2001年通过与硅研制工艺线共同使用部分关键设备、仪器和设施,率先在国内建成了一条整套化合物半导体器件和电路研制线;

2002年,在中国科学院的支持下研究室开展GaN功率器件和电路的研制;

2003年,开发成功具有自主知识产权的2英寸蓝宝石衬底C波段GaN功率器件和InP HEMT/HBT 流程;

2004年,开发成功具有自主知识产权的2英寸蓝宝石衬底X波段GaN功率器件流程;

2007年,开发成功具有自主知识产权的2英寸SiC衬底的GaN功率器件工艺流程,申请核心专利18项。

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测试平台简介

中国科学院微电子研究所微波器件与电路研究室在国家多个科研项目的资助下,历经数十年的技术积累和仪器更新,建立了国内为数不多的微波、毫米 波器件与电路测试平台。

目前平台拥有各种测试系统和设备约40台(套),配备有IC-CAP提参建模软件、ADS电路仿真软件、Cadence Microwave office等多种设计软件,并与美国著名微波设备厂商安捷伦公司建立了“微波器件与模块设计验证联合实验室”平台。现有专职测试人员多名,均具有丰富的微波、毫米波测试经验。同时,平台为研究所内外的项目组提供了多项测试开发服务, 为国家973、863、重大专项以及国家自然基金等项目提供了有力的测试支撑和服务。

微波、毫米波器件与电路测试平台对外服务的主要内容包括:

微波毫米波芯片、器件和电路的完整参数测试系统,包括S参数、负载牵引测试、功率参数、噪声参数等;

非线性建模测试系统,为功率器件和电路建立非线性模型,提供电路设计、非线性仿真以及模型验证等服务;

依据用户需求,提供定制化的测试服务,包含芯片或器件的建模、仿真、测试以及电路和系统的验证等。

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在研产品简介

GaN基器件与电路 : S波段功率放大器,电力电子器件,液体传感器

Inp基器件与电路 : 75G-110GHz低噪声放大器MMIC,92-100GHz压控振荡器MMIC,W波段功率放大器MMIC,W波段倍频器MMIC,W波段有源混频器,W波段宽带混频器,DC~40GHz静态分频器(二分频、四分频),DC~40GHz混频器

超高速数模混合电路 : 4GS/s 8bit ADC芯片,8GS/s 6bit ADC芯片,3GS/s 12bit DAC芯片,8GS/s 6bit DAC芯片,12.5GS/s比较器,4Gbps比较器

太赫兹器件与电路 : 定向检波器,THz接收机

光伏产品 : 各种太阳能电动车系列,太阳能杀虫灯系列,太阳能光伏水泵及滴灌系统,分布式光伏电站设计和施工,小型便携式光伏移动电源

石墨烯 : 石墨烯透明导电薄膜

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